上海普丹光学仪器有限公司

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MX-4半导体检测显微镜

半导体检测显微镜资料下载

产品用途

MX-4半导体检测显微镜采用无限远色差校正光学系统,具有大视野、成像质量高、功能扩展性强(明场/斜照明/偏振光/DIC观察)、大平台等特点;同时配有长工作距半复消色差物镜和可快速和慢速移动的大行程载物台,尤其适合半导体掩模板、液晶基板或其它平面显示器及各种工业器件的检验。

产品特点

Ø  安全、稳重的机架结构设计: 工业检测级显微镜镜体,低重心、高刚性、高稳定性金属机架,保证了系统的抗震能力与成像稳定性。其前置低手位粗微调同轴调焦机构,内置100-240V宽电压变压器,可适应不同地区的电网电压。底座内部设计有风循环散热系统,长时间使用也不会使机架过热

Ø  反射照明器: 单颗大功率5W白色LED照明,带斜照明机构。切换至斜照明时,可以使物体表面不同材质部分呈现立体图案,增加观察的对比度与视觉效果

Ø  高性能物镜转换器: MX4R转换器采用精密轴承设计,转动手感轻巧舒适,重复定位精度高,物镜转换后的同心度也得到较好的控制,根据需求可配置不同孔位的转换器

产品规格

规格参数 MX-4
光路系统 无限远色差校正光学系统
观察头 铰链三通观察筒,30°倾斜,360°旋转;瞳距范围:50mm~75mm
正像,视度调节±5°;两档分光比R:T=100:0或50:50
目镜 高眼点大视野平场目镜WF10X(Φ22mm)
无限远长工作距平场消
色差金相物镜
倍率 数值孔径(N.A.) 工作距离(W.D.)
-DIC 0.15 10.80mm
10×-DIC 0.3 12.20mm
20×-DIC 0.45 4.00mm
无限远长工作距平场半复消金相物镜 50× 0.55 7.90mm
100×(选配) 0.8 2.10mm
放大倍数 50×-500×
物镜转轮(DIC) 内定位5孔转换器(带DIC插槽)
载物台 6英寸三层机械移动平台,低手位X、Y方向同轴调节
平台面积445mmX240mm,反射照明移动范围:158mmX158mm;透射照明移动范围:100mmX100mm,带离合器手柄,可用于全行程范围内的快速移动
玻璃载物台板。(透/反射用)
调焦机构 粗、微动同轴低手位调焦机构、带锁紧和限位装置
 微动格值0.001mm、粗调行程30mm
DIC微分干涉 DIC微分干涉观察组件(选配)
简易偏光装置 φ30起偏镜插板(反射用)、360度旋转式检偏镜插板(反射用)
反射照明系统 柯拉照明系统,带视场光阑与孔径光阑,中心可调
带斜射照明装置
100-240V宽电压,单颗大功率5W LED,暖色
透射照明系统 内置5W暖色LED透射光照明系统,上下光可独立控制
数码成像系统 高质量0.5X  CCD适配镜
Puda 630万USB型进口芯片数字显微镜摄像机(采用SONY 6.3M/IMX178(C),1/1.8“ (7.37x4.92),59@3072 x2048,59@1536x 1024高性能芯片组/ USB3.0高速通讯,高分辨率、精准的色彩还原处理/ Ultra-Fine颜色引擎,确保颜色精准再现)
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可升级配件 目镜:10×(分划)
注解:●为标配、○为可升级配件
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