产品用途
MX-12半导体检测显微镜采用无限远色差校正光学系统，具有大视野、成像质量高、功能扩展性强(明场/斜照明/偏振光/DIC观察)、大平台等特点；同时配有长工作距半复消色差物镜和可快速和慢速移动的大行程载物台，最大支持300mm晶圆及17英寸液晶面板的检查，含4、6、8、12英寸多种转盘，可适用不同尺寸的晶圆检查、液晶基板或其它平面显示器及各种工业器件的检验。
产品特点
Ø 仰角可调观察筒：0-35°观察角度可调，适合不同身高的用户，降低了对工作环境的要求，让不同的使用者都能找到最佳的观察角度，减轻了长时间工作带来的不适于疲劳，大幅度提高工作效率。
Ø 全新离合驱动式载物台：MX12采用离合式手柄，用户按下离合扳手就可灵活移动平台，无需长时间捏紧手柄；按下离合按钮，取消快速移动，避免长时间操作出现手麻现象，并加快观察速度。MX12引入精密导轨传动机构，移动更轻更顺畅，产品更加稳定可靠。
Ø 防震支架结构设计: 工业检测级显微镜机身由六端支架支撑，低重心、高稳定性全金属机架，保证了系统的抗震能力与成像稳定性。其前置低手位粗微调同轴调焦机构，内置100-240V宽电压变压器，可适应不同地区的电网电压。底座内部设计有风循环散热系统，长时间使用也不会使机架过热
Ø 安全高速电动物镜转换器: 设有前进、后退两档切换模式，可快速、精确定位到所需要的观察倍率，重复定位精度高，有效提升了转换器的使用寿命。
产品规格
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规格参数
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MX-12
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光路系统
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无限远色差校正光学系统
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●
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观察方式
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明场/暗场/偏光/DIC观察模式(选配)
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○
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观察头
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铰链三通观察筒，0-35°倾斜可调，瞳距范围：50mm～76mm
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●
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正像,视度调节±5°；两档分光比R:T=100:0或0:100
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●
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目镜
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高眼点大视野平场目镜WF10X(Φ25mm)，视度可调/可带十字分划板
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●
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无限远长距离明暗场半复消金相物镜
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倍率
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数值孔径(N.A.)
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工作距离(W.D.)
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●
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5×DIC
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0.15
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13.50mm
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10×DIC
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0.3
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9.00mm
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20×DIC
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0.4
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8.50mm
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50×
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0.55
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7.50mm
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100×(选配)
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0.8
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2.10mm
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○
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放大倍数
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50×-500×
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●
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电动物镜转轮(DIC)
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明暗场六孔电动转换器(带DIC插槽)。设有前进、后退两档切换模式，可快速、精确定位到所需要的观察倍率，重复定位精度高
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●
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机架
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反射式机架：前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm，微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统。物镜和孔径光阑采用全新的电动控制系统，其操作按键位于仪器正前方
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●
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载物台
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右手位14*12英寸三层机械移动平台，低手位X、Y方向同轴调节
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●
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平台面积710mmX420mm，移动范围：356mmX305mm，带离合器手柄，可用于全行程范围内的快速移动；反射配金属平台
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玻璃载物台板。（透/反射用）
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明暗场装置
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带明暗场观察切换装置与明暗场照明切换装置
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●
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DIC微分干涉
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DIC微分干涉观察组件(选配)
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○
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简易偏光装置
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φ30起偏镜插板（反射用）、360度旋转式检偏镜插板（反射用）
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●
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照明系统
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柯拉照明系统，带视场光阑与孔径光阑，中心可调
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●
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100-240V宽电压,12V/100W卤素灯，明暗场反射照明器
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12V/100W卤素灯（PHILIPS 7724）
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数码成像系统
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高质量0.5X
CCD可调焦适配镜
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●
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Puda 630万USB型进口芯片数字显微镜摄像机(采用SONY
6.3M/IMX178(C)，1/1.8“ (7.37x4.92)，59@3072 x2048，59@1536x 1024高性能芯片组/
USB3.0高速通讯，高分辨率、精准的色彩还原处理/ Ultra-Fine颜色引擎，确保颜色精准再现)
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Puda ImageView专业的图像处理软件
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可升级配件
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目镜：10×(分划)
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○
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注解：●为标配、○为可升级配件
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部分样品图片
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