扫描电镜是六十年代发展起来的一种精密电子学仪器.利用它可以观察块状样品的表面形态，从而得出有关样品立体结构的概念.扫描电镜的工作原理可以借助于图3-1来说明.它由三部分构成:(一)电子光学系统，包括电子枪，磁透镜和扫描线圈等。它能产生符合一定要求的电子束，(二)样品室，这是电子束与样品相互作用的场所。为便于获取作用后生成的各种信号，样品室的体积容量较大。(三)信号的收集、处理和显示系统。
　　扫描电镜中的细电子束在样品表面作出光栅状扫描，即从左上方扫向右上方，扫完一行再扫其下相邻的第二行，直至扫完一幅(或帧)。如此反复运动.这种作扫描运动的电子束，在样品内的一定区域内逐点“轰击”出各种信号.这里所收集、利用的主要是从块状样品表面“反射”回来的各种信号，包括作用后的部分初始电子(即背散射电子)和初始电子失能所引起的二次激发信号。对于电镜分析有意义的二次激发为:
　　1.低能二次电子，
　　2.电子一空穴对(电子束感生信号)，
　　3.阴极荧光，
　　4.特征X射线，
　　5.俄歇(Auger)电子。
　　此外，少数实验中也有利用样品中的吸收电子和透射电子作分析的.当电子束在样品上扫描时，利用同步扫描技术。