它可以从样品表面观察形貌获得多方面资料。在扫描电子偏光显微镜中，因为可以利用入射电子和样品相互作用所产生的各种讯号来构成扫描电子像。因此，借助于成像讯号本身的性质和讯号处理方法，既可获得“无阴影照明性质”的电子像，即二次电子像，也可以获得“带阴影照明性质”的电子像，即背散射电子像。

    既可采用从两对称方向所接收背散射电子讯号相加的办法获得单纯表征元素分布的成分像，也可以采用从两对称方向所接收背散射电子讯号相减的方法获得单纯表征高低不平的凹凸像，既可以获得强调表观部分的电子像，发射型电子像，也可以获得强调深坑部分的电子像，吸收电子像。

    由此可见，采用扫描电子偏光显微镜可以从样品的表面形貌获得多方面的资料。