光学仪器电子偏光显微镜磁透镜的作用
发布人:shpuda发布时间:2014/4/29
电子偏光显微镜以及其他重要的电子光学仪器中,几乎总是采用磁透镜聚焦,这是因为与静电透镜相比,磁透镜有许多优点:它的像差系数比较小,能提供优良的图像:它对环境的敏感性要求较小等等。
磁透镜有3种结构:①单由多层线圈组成的弱磁透镜,它的安匝数为IN,磁通量密度B较均匀地分布在整个空间;②由线圈和减小磁漏的软铁壳组成的弱磁透镜,③由线圈加软铁壳及使磁场更集中的软铁的极靴组成的强磁透镜,这种透镜中极靴的间隙和开孔很小,透镜的强度就很强。
电子偏光显微镜中用到的磁透镜都是第3种结构,即由线圈、铁壳和极靴组成。只是极靴的间晾和孔径不同,透镜的强度有所不同,物镜和投影镜为强磁透镜,它们有很高的放大倍数,聚光镜相对较弱,而中间镜更弱一些。图8.3-8.5是几个实际磁透镜的简化剖面图。图8.3是一种长焦距聚光镜,它的焦距f和球差系数Cs的大小在同一数量级上,间隙s和极靴孔直径D都是8cm。
它的线圈分成两部分,图中标以线圈1和线圈2,它们之间通以冷却水的管道。图8.4中给出的是一种称为VONARDENNE型的物镜,它的极靴系统是由极靴1和极靴2组成,它们被非磁性隔离片连接插人到图中分别标以1和2的透镜铁壳的中心部分,由于极靴的间隙和孔径都非常小,所以结构中增加了图中的两个抽真空的通道1和2,有了它们,抽真空的速度比单从中心通道抽要快得多。因为电子偏光显微镜的观察物是放在物镜磁场中,接近焦点的位趁(图中没有绘出),在更换样品时,物镜内的真空是要被破坏的,为了不影响整个显微镜镜体内的真空度,结构中用两个可移动真空阀门1和2来隔断物镜与整个镜体的通道。更换好样品后,先预抽物镜处的真空,然后打开可移动真空阁门1和2,使物镜和整个镜体相通。
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