在观察形貌时，因为扫描电子像小，不是同时记录，故能在微小区域进行成分分析和晶体学分析。扫描电子像是由分解为近百万个像点，即所谓像素，逐个依次记录构成的。通过扫描电子偏光显微镜，除了观察表面形貌外，还能进行成分和元素分布的分析。因为在同一图像上各点均同时记录，所以这点在其它类型偏光显微镜是办不到的。

    此外，应用三透镜式扫描电子偏光显微镜，很容易从微小区域获得电子通道图，进行结晶学分析。选区尺寸可局限在10微米到2微米的小区域。因此，又可以在厚块样品小区域中测定晶体向位、晶胞大小以及断口附近微小区域的应变等。

    由于扫描电子偏光显微镜具有上述优点，颇受科研工作者的重视，用途日益广泛。从发展趋势来看，它将象光学显微镜那样普遍地在实验室中应用。